공역 초점 렌즈_

공기 간격 초점 렌즈 개발의 목적은 수차를 최소화하고 가장 작은 스폿 크기를 구현하는 것입니다. 색수차 보정 삼중 렌즈는 색수차를 보정하여 작동 레이저 빔과 검사용 가시광선 빔이 동일한 초점 또는 가장 가까운 두 초점에 초점을 맞추도록 합니다.